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產(chǎn)品詳細(xì)頁
產(chǎn)品特點(diǎn)
量程低至10SCCM
寬量程比：1000:1
響應(yīng)時(shí)間：100-1000ms
無需預(yù)熱時(shí)間
多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光
內(nèi)置98種常用氣體，可編輯混合氣體
測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力，累積流量可選
技術(shù)參數(shù)
量程范圍：從0~10SCCM至0~5000SLPM（10000SLPM for H2）
可測介質(zhì)：非腐蝕性、潔凈、干燥氣體（如需測量腐蝕性氣體可選MS系列）
精度：10 SCCM ~ 20 SLPM 量程段：
普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取較大值）
高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取較大值）
50SLPM ~ 5000SLPM量程段
普通精度 ± 2% 滿量程
重復(fù)性：±0.2%
測量范圍：0.01%~100%滿量程
溫度范圍：-10~60℃（可選高溫選項(xiàng)）
溫度精度：±0.75℃
溫度漂移：0.02%滿量程/℃
耐壓：320PSIA
壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù), <1atm:±0.07PSIA
操作壓力低至：11.5PSIA（更低壓力請來電垂詢）
防護(hù)等級：IP40
濕度范圍：0~95%不凝結(jié)
接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)
模擬信號：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
數(shù)字信號：RS232；RS485
通訊協(xié)議：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
標(biāo)準(zhǔn)電氣連接：DB9 male, 可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
供電電源：9-24VDC 40mA min（如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須12 - 24VDC）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：默認(rèn)25℃，1atm，顯示屏上可自定義其它標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
操作軟件：自帶操作軟件，可存儲(chǔ)、導(dǎo)出數(shù)據(jù)
更多個(gè)性化性能及選項(xiàng)請來電垂詢！010-87241391
訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
接口類型
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