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產(chǎn)品詳細(xì)頁
產(chǎn)品特點(diǎn)
量程低至0.5SCCM
寬量程比：10000:1
響應(yīng)時(shí)間：100-1000ms
無需預(yù)熱時(shí)間
多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光
內(nèi)置98種常用氣體，可編輯混合氣體
測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力，累積流量可選
技術(shù)參數(shù)
量程范圍：從0~0.5SCCM至0~1000SLPM
可測(cè)介質(zhì)：非腐蝕性、潔凈、干燥氣體（如需測(cè)量腐蝕性氣體可選MWS系列）
精度：標(biāo)準(zhǔn)精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程，（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性：±0.2%
測(cè)量范圍：0.01%~100%滿量程
溫度范圍：-10~60℃（可選高溫選項(xiàng)）
溫度精度：±0.75℃
溫度漂移：0.02%滿量程/℃
耐壓：160PSIA（更高耐壓請(qǐng)選擇MQ系列）
壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù),<1atm:±0.07PSIA
操作壓力低至：11.5PSIA（更低壓力請(qǐng)來電垂詢）
防護(hù)等級(jí)：IP40
濕度范圍：0~95%不凝結(jié)
接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)
模擬信號(hào)：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
數(shù)字信號(hào)：RS232；RS485
通訊協(xié)議：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
標(biāo)準(zhǔn)電氣連接：DB9 male, 可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
供電電源：9-24VDC 40mA min（如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須12 - 24VDC）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：默認(rèn)25℃，1atm，顯示屏上可自定義其它標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)
操作軟件：自帶操作軟件，可存儲(chǔ)、導(dǎo)出數(shù)據(jù)
更多個(gè)性化性能及選項(xiàng)請(qǐng)來電垂詢！010-87241391
尺寸壓損
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滿量程質(zhì)量流量控制器 |
滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中 |
機(jī)械尺寸1 |
過程連接2 |
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10 SCCM ~ 50 SCCM |
1.0 |
3.9''H x 3.4''W x 1.1''D |
M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） |
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100 SCCM ~ 500 SCCM |
1.0 |
4.1''H x 3.6''W x 1.1''D |
1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 |
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1 SLPM |
1.5 |
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2 SLPM |
3.0 |
||
|
5 SLPM |
2.0 |
||
|
10 SLPM |
5.5 |
||
|
20 SLPM |
20.0 |
||
|
50 SLPM |
9.0 |
5.5''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
|
100 SLPM |
2.6 |
||
|
250 SLPM |
4.6 |
5.5''H x 7.7''W x 2.3''D |
1/2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
|
500 SLPM |
6.5 |
5.5''H x 7.3''W x 2.3''D |
3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 （A 1-1/4” NPT 內(nèi)螺紋可選過程連接 可用于2000 slpm 流量計(jì)） |
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1000 SLPM |
14.0 |
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1500 SLPM |
17.0 |
||
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2000 SLPM |
28.6 |
5.5''H x 8.1''W x 2.9''D |
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3000 SLPM |
16.8 |
5.5''H x 8.9''W x 2.9''D |
1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號(hào)
接口類型
如需選型報(bào)價(jià)請(qǐng)來電垂詢！010-87241391
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