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產品特點
量程低至100SCCM
寬量程比：1000:1
響應時間：100ms
體積小巧，適用于系統(tǒng)集成
壓力損失低
技術參數
介質要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質種類 可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2
滿量程： 標準0 - 100 SCCM至0-100SLPM
控制范圍 0.1 ~ 100%滿量程 （1000:1）
精 度 ： ±1.5%讀數或者±0.2%滿量程，取決于氣體
重 復 性： ±0.25 %讀數或者±0.05%滿量程，取較大值
控制響應時間（T63） 優(yōu)于100 ms，與量程相關，用戶可調
預熱時間 1min~5min
標準狀況（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用戶可定制
操作溫度： 0 ～ 50℃（介質和環(huán)境）
工作濕度 0-95 %，無冷凝
操作壓力 100SCCM-5SLPM:0-145PSIG
10SLPM:0-100PSIG
20SLPM:0-60PSIG
50-100SLPM:0-145PSIG
注：10SLPM和20SLPM可定制閥門選項，提高操作壓力
耐壓： 175PSIG
數字信號： RS485或RS232 MODBUS RTU
模擬信號： 0 - 5 Vdc；4 - 20 mA
電氣接口：6針 JST GH
供電需求： 12-24 Vdc，210mA
主體材質：硬質陽極氧化鋁
閥門材質：黃銅，300系列不銹鋼，NBR（丁晴橡膠），FR4樹脂
密封材質：FKM
傳 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，錫，紫銅
過程連接 NPT或SAE內螺紋
安裝固定孔：2×M3×0.5螺紋，深度6mm
安裝方向： 平行方向校準
閥門類型：常閉
防護等級 IP40
狀態(tài)指示燈（LED）：電源，串口通訊，錯誤
訂貨參數
氣體種類
量程范圍（標準狀態(tài)下量程）
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
接口類型
如需選型報價請來電垂詢！010-87241391
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