產(chǎn)品特點

量程低至100SCCM

寬量程比：1000:1

響應(yīng)時間：100ms

體積小巧，適用于系統(tǒng)集成

壓力損失低

技術(shù)參數(shù)

          介質(zhì)要求    潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

          介質(zhì)種類   可兼容Air，N2，O2，CH4，Ar，CO2，N2O，He，H2

          滿量程：    標準0 - 100 SCCM至0-100SLPM     

          控制范圍    0.1 ~ 100%滿量程 （1000:1）        

          精    度 ： ±1.5%讀數(shù)或者±0.2%滿量程，取決于氣體

          重 復(fù) 性：    ±0.25 %讀數(shù)或者±0.05%滿量程，取較大值

          控制響應(yīng)時間（T63）    優(yōu)于100 ms，與量程相關(guān)，用戶可調(diào)

          預(yù)熱時間    1min~5min

          標準狀況（STP）：0℃，20℃，25℃，70℉ & 1Atm，用戶可定制

          操作溫度：    0 ～ 50℃（介質(zhì)和環(huán)境）

         工作濕度      0-95 %，無冷凝

          操作壓力  100SCCM-5SLPM:0-145PSIG

                                  10SLPM:0-100PSIG

                                  20SLPM:0-60PSIG

                                  50-100SLPM:0-145PSIG

           注：10SLPM和20SLPM可定制閥門選項，提高操作壓力

           耐壓：  175PSIG

           數(shù)字信號：  RS485或RS232 MODBUS RTU

           模擬信號： 0 - 5 Vdc；4 - 20 mA

           電氣接口：6針 JST GH

           供電需求：    12-24 Vdc，210mA

           主體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁

           閥門材質(zhì)：黃銅，300系列不銹鋼，NBR（丁晴橡膠），F(xiàn)R4樹脂

           密封材質(zhì)：FKM

           傳 感 器：SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J，PBT UL 94V-0，錫，紫銅 

           過程連接    NPT或SAE內(nèi)螺紋

           安裝固定孔：2×M3×0.5螺紋，深度6mm

           安裝方向：   平行方向校準

           閥門類型：常閉

           防護等級    IP40

           狀態(tài)指示燈（LED）：電源，串口通訊，錯誤

訂貨參數(shù)

氣體種類

量程范圍（標準狀態(tài)下量程）

使用壓力

使用溫度

精度要求

輸出信號

接口類型

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