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產(chǎn)品詳細頁產(chǎn)品特點
量程低至100SCCM
寬量程比:1000:1
響應(yīng)時間:100ms
體積小巧,適用于系統(tǒng)集成
壓力損失低
技術(shù)參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質(zhì)種類 可兼容Air,N2,O2,CH4,Ar,CO2,N2O,He,H2
滿量程: 標準0 - 100 SCCM至0-100SLPM
控制范圍 0.1 ~ 100%滿量程 (1000:1)
精 度 : ±1.5%讀數(shù)或者±0.2%滿量程,取決于氣體
重 復(fù) 性: ±0.25 %讀數(shù)或者±0.05%滿量程,取較大值
控制響應(yīng)時間(T63) 優(yōu)于100 ms,與量程相關(guān),用戶可調(diào)
預(yù)熱時間 1min~5min
標準狀況(STP):0℃,20℃,25℃,70℉ & 1Atm,用戶可定制
操作溫度: 0 ~ 50℃(介質(zhì)和環(huán)境)
工作濕度 0-95 %,無冷凝
操作壓力 100SCCM-5SLPM:0-145PSIG
10SLPM:0-100PSIG
20SLPM:0-60PSIG
50-100SLPM:0-145PSIG
注:10SLPM和20SLPM可定制閥門選項,提高操作壓力
耐壓: 175PSIG
數(shù)字信號: RS485或RS232 MODBUS RTU
模擬信號: 0 - 5 Vdc;4 - 20 mA
電氣接口:6針 JST GH
供電需求: 12-24 Vdc,210mA
主體材質(zhì):硬質(zhì)陽極氧化鋁
閥門材質(zhì):黃銅,300系列不銹鋼,NBR(丁晴橡膠),F(xiàn)R4樹脂
密封材質(zhì):FKM
傳 感 器:SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J,PBT UL 94V-0,錫,紫銅
過程連接 NPT或SAE內(nèi)螺紋
安裝固定孔:2×M3×0.5螺紋,深度6mm
安裝方向: 平行方向校準
閥門類型:常閉
防護等級 IP40
狀態(tài)指示燈(LED):電源,串口通訊,錯誤
訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍(標準狀態(tài)下量程)
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號
接口類型
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