產(chǎn)品特點(diǎn)

量程低至0.5SCCM

寬量程比：10000:1

響應(yīng)時(shí)間：100-1000ms

無需預(yù)熱時(shí)間

多功能數(shù)字顯示屏，帶摁鍵背光

內(nèi)置98種常用氣體，可編輯混合氣體

測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力，累積流量可選

技術(shù)參數(shù)

量程范圍：從0~0.5SCCM至0~5000SLPM（10000SLPM for H2）

可測(cè)介質(zhì)：非腐蝕性、潔凈、干燥氣體（如需測(cè)量腐蝕性氣體可選MS系列）

精度：標(biāo)準(zhǔn)精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程，（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）

           其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段：

普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取較大值）

高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取較大值）

重復(fù)性：±0.2%

測(cè)量范圍：0.01%~100%滿量程

溫度范圍：-10~60℃（可選高溫選項(xiàng)）

溫度精度：±0.75℃

溫度漂移：0.02%滿量程/℃

耐壓：160PSIA（更高耐壓請(qǐng)選擇MQ系列）

壓力漂移：± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm  from calibration conditions

壓力精度：>1atm:±0.5%讀數(shù)

          <1atm:±0.07PSIA

操作壓力低至：11.5PSIA（更低壓力請(qǐng)來電垂詢）

防護(hù)等級(jí)：IP40

濕度范圍：0~95%不凝結(jié)

接液材質(zhì)：302&303不銹鋼，Viton等多種材質(zhì)

模擬信號(hào)：0-5VDC；1-5VDC；4-20mA；0-10VDC

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

數(shù)字信號(hào)：RS232；RS485

          通訊協(xié)議：Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

標(biāo)準(zhǔn)電氣連接：DB9 male, 可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

供電電源：9-24VDC 40mA min（如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須12 - 24VDC）

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：默認(rèn)25℃，1atm，顯示屏上可自定義其它標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)

操作軟件：自帶操作軟件，可存儲(chǔ)、導(dǎo)出數(shù)據(jù)

更多個(gè)性化性能及選項(xiàng)請(qǐng)來電垂詢！010-87241391

訂貨參數(shù)

氣體種類

量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）

使用壓力

使用溫度

精度要求

輸出信號(hào)

接口類型

如需選型報(bào)價(jià)請(qǐng)來電垂詢！010-87241391